EN ISO 14644
Zu den wichtigsten Normen für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche gehört die EN ISO 14644, die mit dem Inkrafttreten im Juli 1999 den alten US Federal Standard 209E abgelöst hat.
Teil 1 der EN ISO 14644 befasst sich mit der Klassifizierung der Luftreinheit und legt dabei fest, dass ein Reinraum ein Raum ist, "in dem die Konzentration luftgetragener Partikel geregelt wird, der so konstruiert und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden".
Um Reinräume in verschiedene Klassen einteilen zu können, legt die Norm folgende Berechnungsformel zugrunde:
c
n
= 10
N
* (0,1 / D)
2,08
Cn ist hierbei der Höchstwert der Partikelkonzentration (in Partikel je Kubikmeter Luft) von luftgetragenen Partikeln, die gleich der oder größer als die betrachtete Partikelgröße sind. N gibt die ISO-Klassifizierungszahl an, welche die Zahl neun nicht überschreiten darf. D beziffert die betrachtete Partikelgröße, angegeben in Mikrometern.
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